오로스테크놀로지는 올 하반기 국내 및 일본의 반도체 제조업체 4~5곳에 8인치 오버레이 장비 ‘OL-100n’을 공급하기 위한 평가를 진행 중인데, 기존에 Legacy 공정에서 딱히 오버레이(Overlay)를 관리하지 않던 업체에서도 공정 개선 필요성이 대두됨에 따라 OL-100n 장비 선택을 고려하고 있다.

OL-100n은 오로스테크놀로지의 주력 제품인 12인치 오버레이 기술을 기반으로 한 6인치·8인치 공용 오버레이 장비다. 오버레이는 웨이퍼 상부층과 하부층의 전자회로 패턴 위치가 정확하게 정렬되는지를 측정하는 기술로, 반도체 수율에 직접적인 영향을 미친다.

오로스테크놀로지가 OL-100n을 개발한 이유는 8인치 반도체 시장이 화합물반도체를 중심으로 규모가 확대되고 있기 때문이다. 화합물반도체는 두 종류 이상의 원소로 구성된 반도체로, SiC (탄화규소), GaN (질화갈륨) 등이 여기에 속한다. 기존 Si (실리콘) 반도체 대비 전력 효율, 내구성 등이 높아 전기차 산업의 핵심 요소로 각광받는 추세이다.

OL-100n은 화합물반도체의 구성 물질에 따라 달라지는 공정 환경에 대응할 수 있도록 유연하게 설계됐으며, 해외 경쟁사의 노후화된 장비 대비 뛰어난 성능과 빠른 측정 속도(Throughput)를 갖췄다. 기존 장비에서 진행하지 못하는 산화막, Al (알루미늄) 막까지 측정할 수 있다는 점도 OL-100n의 주요 차별화된 기술이다.

OL-100n은 지난해 한국나노기술원, 나노종합기술원 등 주로 국내 연구기관에 공급되며 시스템 반도체 및 차세대 지능형 반도체 R&D 지원사업에 일조했고, 대만과 국내 파운드리팹에 반입돼 양산 적용 중이다. 이러한 성과를 기반으로 오로스테크놀로지는 올해부터 매출처를 본격적으로 확대할 전망이다. 현재 국내 및 일본의 반도체 제조업체 4~5곳으로부터 제품 수주를 검토 받고 있으며, 올해 하반기부터 장비를 공급할 계획인 것으로 파악됐다.

오로스테크놀로지 담당자는 “OL-100n은 기존 중고 및 신규 8인치 오버레이 장비 대비 뛰어난 성능으로 고객사로부터 좋은 피드백을 받고 있다”며 “아시아 시장을 중심으로 판매를 계속 확대할 계획”이라고 밝혔다.

출처 : 오로스테크놀로지