ÇÑȽýºÅÛ(´ëÇ¥ÀÌ»ç ¾î¼ºÃ¶)ÀÌ Â÷·®¿ë ¼¾¼¾÷ü Æ®·çÀ©°ú ¼ÕÀâ°í ÀÚµ¿Â÷ ÀüÀå ºÎÇ° ½ÃÀå¿¡ º»°ÝÀûÀ¸·Î ¶Ù¾îµç´Ù. ‘ÀÚÀ²ÁÖÇàÂ÷ÀÇ ´«’ ³ªÀÌÆ®ºñÀüÀÇ ÇÙ½É ºÎÇ°ÀÎ IR (Infrared·Àû¿Ü¼±) ¼¾¼ ¹× ÀüÀå ¼¾¼¿Í °°Àº MEMS[1] Â÷·®¿ë ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ³ª¼±´Ù.
ÇÑȽýºÅÛÀº 15ÀÏ ¼¿ï Áß±¸ Àå±³µ¿ ÇÑȺôµù¿¡¼ Æ®·çÀ©°ú IR ¼¾¼¿Í Â÷·® ºÎÇ°¿ë ¼¾¼ÀÇ °³¹ß·Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ ÇÕÀÛ¹ýÀÎ(JV) ¹× »ý»ê¼³ºñ¿¡ °üÇÑ ÇÕÀÛÅõÀÚ °è¾à(JVA) ü°á½ÄÀ» Çß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¾ç»ç ÀÚº»±ÝÀº 360¾ï¿ø ±Ô¸ðÀ̸ç, ÇÑȽýºÅÛ°ú Æ®·çÀ©ÀÌ 51´ë 49 ºñÀ²·Î ÁöºÐÀ» È®º¸ÇÑ´Ù. ¿ì¼öÇÑ ±â¼ú·ÂÀ» º¸À¯ÇÑ Áß¼Ò±â¾÷ ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇØ ÇÑȽýºÅÛÀº ³ªÀÌÆ®ºñÀü »ç¾÷ȸ¦ °¡¼ÓÈÇÏ°í, Æ®·çÀ©Àº ÀüÀå ¸ðµâÀ» °íµµÈÇÏ´Â ‘»ó»ý ¸ðµ¨’ÀÌ´Ù.
ÇÑȽýºÅÛ°ú Æ®·çÀ©ÀÌ ¿¬³» ¼³¸³ÇÒ ÇÕÀÛ¹ýÀÎÀº MEMS(¹Ì¼¼ÀüÀÚ ±â°è½Ã½ºÅÛ) ¹ÝµµÃ¼ ÆÕ(Fab·Àü¿ë ¼³ºñ)ºÎÅÍ ±¸Ãà, ÃÖ÷´Ü IR ¼¾¼¿Í ÀÚµ¿Â÷ ÀüÀå ¼¾¼ 3Á¾À» ÁýÁß °³¹ß ¹× »ý»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¿ø°Å¸® IR ¼¾¼´Â ÀÚÀ²ÁÖÇàÂ÷·® ÁÖÇà ½Äº°¿¡ ÀÖ¾î ÇʼöÀûÀÎ ³ªÀÌÆ®ºñÀü¿¡ ÀåÂøµÇ¸ç, Â÷·® ³» ´Ù¾çÇÑ ºÎÇ°¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ¼¾¼ 3Á¾Àº ¡âÀÚ±â À¯µµ¹æ½Ä ±ÙÁ¢°¨Áö ¼¾¼(EPS)[2] ¡â¾Ð·Â ¼¾¼(IPS)[3] ¡â°í¿ÂÃøÁ¤ ¼¾¼(HTS)[4] µîÀÌ´Ù.
MEMS ¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀº ´ëÀü À¯¼º±¸ ¼ÒÀç Æ®·çÀ© »ç¾÷Àå ¿ëÁö ³»¿¡ Áö¾îÁú ¿¹Á¤À̸ç, 2023³â º»°ÝÀûÀÎ Â÷·® ÀüÀå ¼¾¼ »ý»êÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
À±¼®Àº ÇÑȽýºÅÛ ¹Ì·¡±â¼ú»ç¾÷ºÎÀåÀº “ÀÚÀ²ÁÖÇàÂ÷·¼ö¼Ò Àü±âÂ÷ ½ÃÀåÀÌ Å©°Ô ¼ºÀåÇÒ Â÷¼¼´ë ÀüÀå»ê¾÷ ŵ¿±â¸¦ ¾ç»çÀÇ ±â¼ú °æÀï·Â°ú ¿ª·®À» °áÁýÇØ ´ëºñÇÏ°íÀÚ ÇÑ´Ù”¸ç “ƯÈ÷ À̹ø ÇÕÀÛÅõÀÚ¸¦ ÅëÇØ °í°¡ÀÇ IR ¼¾¼¸¦ Çõ½ÅÀûÀÎ ±â¼ú·Î Àú°¡ÈÇÔÀ¸·Î½á Â÷·®¿ë ³ªÀÌÆ®ºñÀüÀº ¹°·Ð ½º¸¶Æ®Æù¿¡µµ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï »õ·Î¿î ½ÃÀåÀ» âÃâÇØ ³ª°¥ °Í”ÀÌ¶ó ¸»Çß´Ù.
ÇÑȽýºÅÛÀº 40¿©³â°£ °¨½ÃÁ¤Âû¿ë ÀüÀÚ±¤ÇÐ Àåºñ¿Í ÀüÂ÷·Àå°©Â÷ÀÇ ³ªÀÌÆ®ºñÀü, ÁÖ·¾ß°£ Á¶ÁØ°æ·°üÃø°æ µîÀ» °³¹ß ¹× °ø±ÞÇØ¿À¸ç ±¹³» ÃÖ°íÀÇ ¼¾¼ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» ÀÔÁõÇØ¿Ô´Ù. Áö³ÇØ ‘Áö´ÉÇü ´Ù¸ñÀû ¿»ó ¿£Áø ¸ðµâ’ÀÎ ÄöÅÒ·¹µå¸¦ Ãâ½ÃÇϸç Â÷·®¿ë ³ªÀÌÆ®ºñÀü ½ÃÀå ÁøÀÔÀ» ¾Ë¸®¸ç, ¿ÃÇØ ³ªÀÌÆ®ºñÀü °³¹ßÀ» À§ÇÑ ÀÚÀ²ÁÖÇà±â¼ú Çõ½Å»ç¾÷ÀÎ ‘ÁÖ·¾ß°£ ´ëÀÀÀÌ °¡´ÉÇÑ ¿ ¿µ»ó À¶ÇÕÇü 3DÄ«¸Þ¶ó ±â¼ú°³¹ß’ ±¹Ã¥°úÁ¦ ¶ÇÇÑ ¼öÁÖÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
[1] MEMS (¹Ì¼¼ÀüÀÚ±â°è½Ã½ºÅÛ) ¹ÝµµÃ¼: ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(§·100¸¸ºÐÀÇ 1¹ÌÅÍ) Å©±â Ãʹ̼¼ ±â°èºÎÇ°°ú ÀüÀÚȸ·Î¸¦ µ¿½Ã¿¡ ÁýÀûÇÏ´Â ±â¼ú·Î, MEMS ±â¹Ý ¸¶ÀÌÅ©·Î ȤÀº ³ª³ë ´ÜÀ§ÀÇ °í°¨µµ ¼¾¼¸¦ MEMS ¼¾¼¶ó°í ÇÑ´Ù.
[2]EPS (Embedded Passive Sensor): ÀÚ±âÀ¯µµ¹æ½Ä ±ÙÁ¢°¨Áö ¼¾¼
[3]IPS (Inductive Pressure Sensor): ÀÚ±âÀ¯µµ¹æ½Ä ¾Ð·Â¼¾¼
[4]HTS (High Temperature Sensor): °í¿ÂÃøÁ¤ ¼¾¼
Ãâó / ÇÑȽýºÅÛ