|
|
|
3D ¹Ý¿øÇü Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ¼¿ ±¸Á¶ ¡®Æ®À© ºò½º Ç÷¡½Ã¡¯ |
Å°¿Á½Ã¾Æ, ºñÆ® ¹Ðµµ ³ôÀÌ´Â ½ºÇø´ °ÔÀÌÆ® ±â¼ú ä¿ë |
|
|
Å°¿Á½Ã¾Æ°¡ Ư¼ö ¼³°è Ç÷ÎÆà °ÔÀÌÆ®(FG) ¼¿À» ÅëÇØ ¼¼°è ÃÖÃÊÀÇ 3Â÷¿ø(3D) ¹Ý¿øÇü ½ºÇø´ °ÔÀÌÆ® Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ¼¿ ±¸Á¶ÀÎ ‘Æ®À© ºò½º Ç÷¡½Ã’¸¦ °³¹ßÇß´Ù°í 12ÀÏ ¹ßÇ¥Çß´Ù.
Æ®À© ºò½º Ç÷¡½Ã´Â ±âÁ¸ÀÇ ¿øÇü Â÷Áö Æ®·¦(CT) ¼¿¿¡ ºñÇØ ¼¿ Å©±â°¡ ÈξÀ ÀÛÀ¸¸é¼µµ ¿ùµîÇÑ ÇÁ·Î±×·¥ ½½·ÎÇÁ¿Í ´õ Å« »çÀÌÁîÀÇ ÇÁ·Î±×·¥/»èÁ¦ À©µµ¸¦ °®°í ÀÖ´Ù. À̵é Ư¼ºÀ¸·Î ÀÎÇØ »õ·Î¿î ¼¿ µðÀÚÀÎÀº ÀûÀº ¼öÀÇ ½ºÅÂÅ· ·¹À̾µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ¸Þ¸ð¸® ¹Ðµµ°¡ ÈξÀ ³ôÀº ¼¿´ç 4ºñÆ®(QLC)¸¦ ÃÊ°úÇÏ´Â À¯¸ÁÇÑ È帰¡ µÇ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº 12¿ù 11ÀÏ »÷ÇÁ¶õ½Ã½ºÄÚ¿¡¼ ¿¸° IEEE ±¹Á¦¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚÇÐȸ(IEDM)¿¡¼ ¹ßÇ¥µÇ¾ú´Ù.
3D Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ±â¼úÀº ¼¿ ½ºÅà ·¹ÀÌ¾î ¼ö¸¦ ´Ã¸®°í ´ÙÁß ·¹ÀÌ¾î ½ºÅà ÁõÂøÀ» ½ÇÇàÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ ³ôÀº °¡·Î¼¼·Î ºñÀ²ÀÇ ½Ä°¢ ±â¼úÀ» µµÀÔÇÔÀ¸·Î½á ºñÆ®´ç ºñ¿ëÀ» ³·Ã߸鼵µ ºñÆ® ¹Ðµµ¸¦ ³ôÀÌ´Â ¼º°ú¸¦ °ÅµÎ¾ú´Ù. ÃÖ±Ù ¸î ³â »çÀÌ¿¡ ¼¿ ·¹ÀÌ¾î ¼ö°¡ 100°³¸¦ ³Ñ¾î¼¶¿¡ µû¶ó ½Ä°¢ ÇÁ·ÎÇÊ ÄÁÆ®·Ñ°ú »çÀÌÁî ÀÏ·ü¼º, »ý»ê¼º »çÀÌÀÇ »óÃæ°ü°è¸¦ °ü¸®ÇÏ´Â ÀÏÀÌ Á¡Â÷ ´õ ¾î·Á¿öÁö°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¹®Á¦¸¦ ±Øº¹ÇÏ´Â ¹æ¾ÈÀ¸·Î¼ Å°¿Á½Ã¾Æ´Â ±âÁ¸ÀÇ ¿øÇü ¼¿°ú ´ëºñÇÏ¿© ¼¿ »çÀÌÁ ÁÙÀ̱â À§ÇØ ±âÁ¸ ¿øÇü ¼¿ÀÇ °ÔÀÌÆ® Àü±ØÀ» µÑ·Î ³ª´²¼ »õ·Î¿î ¹Ý¿øÇü ¼¿ µðÀÚÀÎÀ» °³¹ßÇسÂÀ¸¸ç À̷νá ÀûÀº ¼öÀÇ ¼¿ ·¹À̾µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ´õ ³ôÀº ¸Þ¸ð¸® ¹Ðµµ¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.
¿øÇü ÄÁÆ®·Ñ °ÔÀÌÆ®´Â ±× °î¼± È¿°ú·Î ÀÎÇØ Æò¸é °ÔÀÌÆ®¿¡ ºñÇØ Æ÷È ¹®Á¦°¡ ´ú ½É°¢Çϸç ÀÌ¿¡ µû¶ó ´õ Å« »çÀÌÁîÀÇ ÇÁ·Î±×·¥ À©µµ¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù. À̸¦ ÅëÇØ ÅͳΠÀ¯Àüü¸¦ ÅëÇÑ Ä³¸®¾î ÁÖÀÔÀÌ ´õ ½¬¿öÁö°í ºí·Ï(BLK) À¯Àüü·ÎÀÇ ÀüÀÚ ´©ÃâÀÌ ÁÙ¾îµé ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº ½ºÇø´ °ÔÀÌÆ® ¼¿ µðÀÚÀο¡¼ ¿øÇü ÄÁÆ®·Ñ °ÔÀÌÆ®´Â ÇÁ·Î±×·¥/»èÁ¦ ´ÙÀ̳ª¹Í¿¡¼ ³ôÀº Çâ»ó È¿°ú¸¦ ³»±â À§ÇØ µÎ °³ÀÇ ¹Ý¿øÇü °ÔÀÌÆ®·Î ´ëĪÇüÀ¸·Î ºÐ¸®µÈ´Ù. ±×¸² 1¿¡¼ ³ªÅ¸³ °Í°ú °°ÀÌ ³ôÀº k BLK À¯Àüü¿Í ÇÔ²² ³ôÀº Â÷Áö Æ®·¦ È¿À²À» À§ÇØ Àüµµ¼º ÃàÀû ·¹À̾ äÅõǾî ÇÁ·Î±×·¥ À©µµ¸¦ ¾ò°í FG·ÎºÎÅÍ ÀüÀÚ ´©ÃâÀ» ³·Ãß±â À§ÇØ ³ôÀº Ä¿Çøµ ºñÀ²À» ¼ºÃëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶Ç ±×·³À¸·Î½á Æ÷È ¹®Á¦¸¦ ÇؼÒÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù.
±×¸² 2¿¡¼ ½ÇÇèÀû ÇÁ·Î±×·¥/»èÁ¦ Ư¼ºÀ» º¸¸é ³ôÀº k ±â¹Ý BLK¿Í °áÇÕµÈ ¹Ý¿øÇü FG ¼¿ÀÌ ÇÁ·Î±×·¥ ½½·ÎÇÁ¿Í ÇÁ·Î±×·¥/»èÁ¦ À©µµ Ãø¸é¿¡¼ ´ë±Ô¸ð ¿øÇü CT ¼¿¿¡ ºñÇØ ÈξÀ ¿ùµîÇÑ ¼º°ú¸¦ ³ªÅ¸³¿À» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. ¿ùµîÇÑ ÇÁ·Î±×·¥/»èÁ¦ Ư¼ºÀ» °®°í ÀÖ´Â ¹Ý¿øÇü FG ¼¿Àº ¼¿ »çÀÌÁî°¡ ÀÛÀº °æ¿ì¿¡µµ »ó´ëÀûÀ¸·Î Á¶¹ÐÇÑ QLT Vt ºÐ¹è ÆÐÅÏÀ» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ¿¡ ´õÇؼ ³·Àº Æ®·¦ Si ä³ÎÀÇ ÅëÇÕÀº ±×¸² 3¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖµíÀÌ ¿¹¸¦ µé¾î ÆæŸ ·¹º§ ¼¿(PLC) °°ÀÌ ¼¿´ç 4ºñÆ® ÀÌ»óÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °á°ú´Â ¹Ý¿øÇü FG ¼¿ÀÌ ³ôÀº ºñÆ® ¹Ðµµ¸¦ °¡´ÉÇÏ°Ô Çϴµ¥ »ó´çÈ÷ À¯¸ÁÇÑ ¿É¼ÇÀÌ µÊÀ» ÀÔÁõÇÑ´Ù.
Àå·¡¿¡ Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß À̳뺣À̼ǿ¡ ÃÊÁ¡À» ¸ÂÃá Å°¿Á½Ã¾ÆÀÇ ¿¬±¸°³¹ß ³ë·ÂÀº °è¼ÓÇؼ Æ®À© ºò½º Ç÷¡½Ã °³¹ß°ú ÀÌ¿Í °ü·ÃµÈ ½Ç¿ëÀû ¾îÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ ¸ÂÃçÁú ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. À̹ø IEDM 2019 Çà»ç¿¡¼ Å°¿Á½Ã¾Æ´Â Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß¿¡¼ ȸ»ç°¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ±â¿ïÀÌ´Â R&D ³ë·ÂÀ» ¹Ý¿µÇÏ´Â ¿©¼¸ ÆíÀÇ ³í¹®À» ¹ßÇ¥Çß´Ù.
Ãâó : Å°¿Á½Ã¾Æ(KIOXIA)
|
|
Àüü´º½º¸ñ·ÏÀ¸·Î |
|
|
|
|
|