°æºÏµµ¿Í Æ÷Ç׳ª³ë±â¼úÁýÀû¼¾ÅÍ(ÀÌÇÏ ³ª³ë¼¾ÅÍ)´Â 2013³âÀ» ³ª³ë±â¼ú±â¹ÝÀ¸·Î »ê¾÷°íµµÈ ÃËÁø ¿ø³âÀ¸·Î ¼±¾ðÇÏ°í ¼¾ÅÍ ½Ã¼³ÁõÃà ¹× ¸®¸ðµ¨¸µ, ½Å±Ô ÷´ÜÀåºñ µµÀÔ µîÀ¸·Î ¹Ú±ÙÇý Á¤ºÎÀÇ “âÁ¶°æÁ¦ ½ÇÇö”À» À§ÇÑ ³ª³ë±â¼ú±â¹ÝÀÇ ½Å»ê¾÷, ½Å½ÃÀå âÃâ ¸¶·Ã Áغñ¸¦ ¸¶ÃÆ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¸ÕÀú, ÷´Ü ÀåºñµµÀÔÀº ³ª³ë¼¾ÅÍ°¡ º¸À¯ÇÑ Àåºñ Áß ¼ö¿ä°¡ °¡Àå ¸¹Àº Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ µµÀÔ°èȹÀ» ¸¶·ÃÇÏ¿©, 2012³â ±¸¸ÅÇÑ Áý¼ÓÀ̿ºöÀåºñ(FIB)(15¾ï¿ø)¿¡ ´ëÇÏ¿© ¿¹ºñ Å×½ºÆ®¸¦ ¸¶ÃÆÀ¸¸ç, Áö³ 3¿ùºÎÅÍ »êÇп¬À» ´ë»óÀ¸·Î ¼ÒÀçºÎÇ°ÀÇ ´Ü¸é, ¹Ì¼¼°¡°ø, ½ÃÆíÁ¦ÀÛ µî ºÐ¼®¼ºñ½º¸¦ ½Ç½ÃÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¼ºñ½º ³»¿ëÀº ¼ÒÀçºÎÇ° ±â¾÷ÀÇ ´Ü¸é, ºÒ·®ºÐ¼®ÀÌ °¡´ÉÇϸç, ¿øÀÚ ¹× ºÐÀÚ¼öÁØÀÇ ±¸Á¶, ¼ººÐºÐ¼®À» À§ÇÑ ¹Ì¼¼½ÃÆí °¡°øÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ±â¾÷¿¡ È°¿ëµÈ´Ù.
FIB(Focused Ion Beam)´Â Áý¼ÓÀ̿ºöÀåÄ¡¶ó°í Çϸç, ºÐ¼®¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ½ÃÆí Á¦ÀÛÀ» À§ÇÏ¿© ³ª³ë¹ÌÅÍ(10-9m) ¼öÁØÀÇ Ãʹ̼¼°¡°øÀÌ °¡´ÉÇÑ ÀåºñÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ, ³ª³ë¼¾ÅÍ´Â ±âÃÊ°úÇבּ¸¿ø(IBS) Æ÷½ºÅØ Ä·ÆÛ½º¿¬±¸´Ü°ú Çù·ÂÇÏ¿© ³ª³ë¹ÌÅÍ(10-9m) Å©±â ÀÌÇÏÀÇ ¿µ¿ª¿¡¼ À¯±âÀç·áºÐ¾ßÀÇ ±¸Á¶, ¼ººÐºÐ¼®À» ±ØÀú¿Â(70KÀÌÇÏ)¿¡¼ ½ÇÇèÀÌ °¡´ÉÇÑ ÃÖ÷´Ü ÀåºñÀÎ Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ(TEM)(53¾ï¿ø)À» µµÀÔÃßÁø Áß¿¡ ÀÖ´Ù.
Ä·ÆÛ½º¿¬±¸´ÜÀº Àåºñ±¸¸Å¸¦ ´ã´çÇÏ°í ³ª³ë¼¾ÅÍ¿¡¼´Â ¹«Áøµ¿, Àú¼ÒÀ½, ÀüÀÚÆÄ Â÷Æó½Ã¼³ µî ÷´Ü½Ã¼³À» °®Ãá Àåºñ¼³Ä¡ Àü¿ë°ø°£À» ÁõÃà(°ø»çºñ 3¾ï¿ø) Áö¿øÇÑ´Ù.
TEM(Transmission Electron Microscopy)Àº Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æÀ¸·Î ³ª³ë¹ÌÅÍ(10-9m) Å©±âÀÌÇÏÀÇ ±¸Á¶ºÐ¼®Àåºñ·Î¼, ¹ÝµµÃ¼, Àç·á, ¹ÙÀÌ¿À µî¿¡¼ ±¸Á¶ ¹× ¼ººÐ µîÀÇ È®ÀÎÀÌ °¡´ÉÇÑ Ã·´Ü ºÐ¼®ÀåºñÀÌ´Ù. ÀåºñµµÀÔ¿¡ µû¸¥ ÀÌÁ¡À¸·Î ³ª³ë±â¼úÀº ³ª³ë¹ÌÅÍ Å©±âÀÇ ¿¬±¸, ±â¼ú°³¹ß¿¡ ÀÖ¾î¼ Ã·´Ü ÀåºñÀÇ ºÐÇØ´ÉÀÌ ¸Å¿ì Áß¿äÇÔ. º» ½Å±Ô µµÀÔÀåºñ´Â ±× µ¿¾È ±â¾÷ÀÌ ¿ä±¸ÇØ ¿Â À¯±âÀç·á ºÐ¾ßÀÇ ºÐ¼®ÀÌ °¡´ÉÇØÁ³À¸¸ç ºÐÇØ´É ¹× ¿¬±¸ºÐ¾ßÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹ÇÏ¿© º¸´Ù È¿À²ÀûÀÎ Àåºñ¼ºñ½º°¡ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ´Â ÀåºñÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ, 2011³â ¼±Á¤µÈ Æ÷½ºÅØ “IT¸íÇ°ÀÎÀç¾ç¼º»ç¾÷”°ú ¿¬°èÇÏ¿© ºÎÁ·ÇÑ ±³À° ¹× ¿¬±¸°ø°£ ¸¶·ÃÀ» À§ÇØ ¿¬±¸µ¿ 1°³Ãþ ÁõÃà(°ø»çºñ 23¾ï¿ø)À» 3¿ù ¸¶¹«¸® Çß´Ù. ±âÁ¸ÀÇ ´ë°´çÀ» ´Ù¸ñÀûȦ·Î È°¿ëÇϵµ·Ï ¸®¸ðµ¨¸µ °ø»ç(°ø»çºñ 2¾ï¿ø)¸¦ ÇÏ´Â µî ¼¾ÅÍ°ø°£ È°¿ë ±Ø´ëȸ¦ ¸ð»öÇÏ°í Á¤ºÎ»ç¾÷ Áö¿ø¿¡ Àû±Ø ¾ÕÀå¼°í ÀÖ´Ù.
°æºÏµµ¿Í ³ª³ë¼¾ÅÍ´Â 2013³â ¿¬±¸°³¹ß°úÁ¦ 25°³ ¾à 60¾ï¿ø ¼öÁÖ¸¦ ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ¸ñÇ¥´Þ¼ºÀ» À§ÇÏ¿© ¿ª·®À» °áÁýÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
Áß¼Ò±â¾÷ Áö¿øÀÇ ´ëÇ¥ »ç¾÷ÀÎ ‘³ª³ëÀ¶ÇÕ»ó¿ëÈ Ç÷§Æû È°¿ë»ç¾÷’Àº 2013³â ±¹ºñ 11.7¾ï¿ø Æ÷ÇÔ 24.5¾ï¿øÀÇ »ç¾÷ºñ·Î °æºÏ¼ÒÀç ³ª³ëÀ¶ÇÕ¼ÒÀç, ³ª³ëÀü·Â¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ, ±Ý¼Ó³ª³ëº¹ÇÕ¼ÒÀçºÐ¾ß 3°³ Áß¼Ò±â¾÷¿¡ ¾à 3¾ï¿ø¾¿ 9¾ï¿øÀ» Áö¿øÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ, ³ª³ëÀ¶ÇÕ »ê¾÷À°¼º ¹× »ó¿ëÈ ±â¾÷Áö¿ø, Ư¼ºÈ°í Àη¾缺, Àåºñ¼ºñ½º, ±â¼ú°³¹ß µîÀ» Áö¿øÇÏ´Â »ç¾÷°èȹÀ» È®Á¤ÇßÀ¸¸ç 160¿©´ëÀÇ °¢Á¾ ÷´ÜÀåºñ ¹× ÀηÂ, ±â¼úÀ» È°¿ëÇØ ¿¬°£ 12,000 ¿©°ÇÀÇ »êÇп¬ ¿¬±¸°³¹ß Áö¿ø ¼ºñ½º¸¦ ½Ç½ÃÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í ¿¬°èÇÏ¿© ÀåºñÀÌ¿ë·á ¼öÀÔ ¸ñÇ¥¸¦ 47¾ï¿øÀ¸·Î Á¤ÇÏ¿© ÈæÀڰ濵ÀÇ µ¶¸³Ã¤»ê±â°üÀ¸·Î¼ Áö¼Ó¼ºÀåÀ» ³ë¸®°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¸ñÇ¥´Â Àü³âµµ ´ëºñ ¾à 10% ¼ºÀåÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ´Â ¸Å¿ì ³ôÀº ¼öÁØÀ¸·Î Ÿ ÃâÀÚ·Ã⿬ ±â°üÀÇ ¸ð¹üÀÌ µÇ°í ÀÖ´Ù.
°æ»óºÏµµ ÀÌÀμ± Á¤¹«ºÎÁö»ç´Â “´ëÇѹα¹ÀÇ ¹Ì·¡¸¦ À§ÇÑ »õ·Î¿î Æз¯´ÙÀÓÀÎ ‘âÁ¶°æÁ¦ ½ÇÇö‘¿¡ ºÎÀÀÇϱâ À§Çؼ´Â ÷´ÜÀÎÇÁ¶óÀÇ ¿ªÇÒ ÀνÄÀÌ ¾î´À ¶§ º¸´Ù Áß¿äÇÏ´Ù“°í °Á¶ÇÏ°í, “³ª³ë¼¾ÅÍ¿Í °°Àº ½Å»ê¾÷ ¹× ½Å½ÃÀå âÃâÀÇ ¼±ºÀÀÌÀÚ Áö¼Ó¼ºÀå °¡´ÉÇÑ ÀÎÇÁ¶ó ±â°üÀÌ ÀÖ´Ù´Â °ÍÀÌ °æºÏµµÀÇ °æÀï·Â”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
¹ÚÂù°æ ³ª³ë¼¾ÅÍÀåÀº “Á¤ºÎ»ç¾÷°ú ¿¬°èÇÏ¿© Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ÁغñÇÑ °ÍÀÌ ”âÁ¶°æÁ¦ ½ÇÇö“¿¡ ÇÑ °ÉÀ½ ´õ ´Ù°¡¼´Â °è±â°¡ µÇ¾ú´Ù”°í ¸»Çß´Ù.
Æ÷Ç׳ª³ë±â¼úÁýÀû¼¾ÅÍ´Â 2004-2009³â 5³â°£ ÃÑ 1,129¾ï¿ø ÅõÀÚ·Î, ¿¬¸éÀû 12,827m2 ½Ã¼³°ÇÃà, Àåºñ 175´ë ±¸ÀÔ, Àü¹®¿¬±¸¿ø 40¸í È®º¸ ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿¬±¸µ¿ 1°³Ãþ ÁõÃà »çÁø³ª³ëÀ¶ÇÕ±â¾÷Áö¿ø, Àåºñ¼ºñ½º, ±â¼ú°³¹ß µîÀ» ÃßÁøÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀηÂ, ±â¼úÀ» È°¿ëÇØ »êÇп¬ ¿¬±¸°³¹ß Áö¿ø ¼ºñ½º¸¦ ½Ç½ÃÇÏ°í ÀÖ´Â ¿ì¸®³ª¶ó 3´ë ³ª³ëÀÎÇÁ¶óÀÌ´Ù. ÇöÀç ³ª³ëÀÎÇÁ¶ó ±Ô¸ð 1À§´Â ´ëÀü¿¡ ÀÖ´Â ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿øÀÌ°í 2À§°¡ ¼ö¿ö¤Ã¿¡ ÀÖ´Â Çѱ¹³ª³ë±â¼ú¿øÀÌ´Ù.
Ãâó: °æ»óºÏµµÃ»